Патенты Hirays: три инженерных подхода к контролю герметичности
Сравнение гелиевого контроля, дифференциальной схемы для крупных изделий и алгоритма ускоренного заполнения.
Публикации
Новости и технические материалы
Патент Hirays CN116398411B: быстрое заполнение при контроле герметичности
Разбор циклического заполнения повышенным давлением, обратной связи и стабилизации крупных испытательных объёмов.
Патент Hirays CN114486125B: контроль утечек крупногабаритных изделий
Инженерный разбор дифференциальной схемы со стандартным и испытуемым объёмами, измерительным трактом и контролем соединений.
Патент Hirays CN116296122B: гелиевый масс-спектрометрический контроль носимых устройств
Разбор запатентованной последовательности проверки компонентов и собранных носимых устройств методом гелиевой масс-спектрометрии.
Hirays и LeakLab: поставка, сервис и обучение в России
Совместная инженерная работа, ввод оборудования, сервисная поддержка и обучение персонала заказчиков.
Как выбрать RGA Hirays
Сопоставление HM-130, HM-150, HM-230, HM-200/210, HM-310 и HM-500 по задаче и среде.
Пробоотбор и калибровка RGA
Ограничитель потока, магистраль, конденсация, время отклика и три уровня проверки измерительной цепочки.
RGA-мониторинг CVD, PVD, ALD и процессов травления
Контроль прекурсоров, продувки, побочных продуктов, базового вакуума и процессных отклонений.
Как отличить течь, газовыделение, виртуальную течь и загрязнение
Диагностика вакуумной системы по кривой откачки, спектру и последовательной изоляции тракта.
Как читать масс-спектр RGA
Молекулярные и фрагментные ионы, перекрывающиеся пики, подтверждающие ионы, фон и тренды.