Методы работы с HM-400: вакуумный, щуповой, накопительный и камерный
Практический выбор режима HM-400 по конструкции изделия и задаче контроля.
Практический выбор режима HM-400 по конструкции изделия и задаче контроля.
Ионный источник, квадрупольный фильтр, детектор, спектр m/z и ограничения интерпретации.
Ионизация гелия, разделение ионов, измерительный тракт, фон, предел обнаружения и построение испытания.
Практическое различие потока течи, чувствительности, разрешения и точности.
Выбор метода для ячеек, корпусов, модулей, пакетов и контуров охлаждения.
Последовательность испытаний холодных пластин, коллекторов, CDU и соединений.
Как RGA помогает различать натекание, газовыделение и технологические загрязнения.
Принципы, ограничения и построение испытательного цикла с гелием.
Сравнение методов падения давления, дифференциального, щупового, вакуумного и пузырькового контроля.